步进电机在低速运行时出现震动的原因通常与以下几个因素有关：
1. 共振现象：步进电机在低速时容易出现机械共振，导致震动。共振是由步进电机的固有频率和运行频率重合引起的。
2. 细分不足：如果步进电机驱动器的细分设置较低，步进电机的运行会不够平滑，导致震动。提高细分数可以显著减小震动。
3. 驱动电流不稳定：驱动电流过大或过小可能会导致步进电机的运行不稳定，从而引发震动。
4. 机械系统问题：如传动装置中有松动、齿轮啮合不良或摩擦不均匀，都会放大低速震动的影响。
5. 惯性负载过大：如果负载的惯性较大，步进电机在低速时可能无法有效控制，导致震动。适当调整加速度或增加阻尼器可以改善这种情况。
6. 驱动器与电机不匹配：驱动器与电机的参数不匹配，可能导致电机在低速时运行不平稳，引起震动。
